第120章 纳米之舞，手搓光刻机

001基地，地下701车间。

那种初次成功的喜悦並没有持续太久。

当那片3微米製程的晶圆被送进封装测试台，苏正看著示波器上跳动的波形，眉头反而越皱越紧。

“不行。”

苏正把测试报告扔在桌上，声音沉闷，“波形抖动太大了。如果是用来控制收音机或者电风扇还凑合，但要用在『红星一號』的ecu上，甚至將来用在飞弹火控上，这个精度……是会死人的。”

站在一旁的老陈和几位部委专家面面相覷。

“苏部长，这已经是奇蹟了啊。”

一位老专家小心翼翼地说道，“咱们是用手摇的设备，加上改装的炉子，硬生生搞出了3微米的晶片。这要是传出去，够拿国家科技进步特等奖了。咱们是不是……要求太高了？”

“如果是为了拿奖，確实够了。”

苏正抬起头，目光像鹰一样锐利，“但我们的对手是谁？是英特尔，是德州仪器，是整个西方半导体联盟！他们现在的量產水平已经是1.5微米，实验室里甚至在攻克1微米。我们这个3微米……在他们眼里，就是个笑话。”

他指了指那台“土法”光刻机：

“核心问题在镜头。这套镜头组的数值孔径不够，边缘像差太大。光刻的时候，原本应该是直线的电路，在边缘变成了弧线。这就是良品率上不去、性能不稳定的根本原因。”

“可是……”老陈一脸为难，“云光厂的那位刘师傅已经尽力了。这套镜头，是他磨了整整一个月，废了十几块毛坯才磨出来的。再想提高精度……那就是神仙难事了。”

“没有神仙。”

苏正站起身，脱下满是油污的防尘服，“既然机器做不到，那就让人来做。既然一个刘师傅不够，那我们就把全华夏最好的『眼』和『手』都请来。”

他转头看向叶心仪：

“心仪，帮我查一下。当年给海军磨潜艇潜望镜镜片的那几位老法师，现在都在哪儿？”

叶心仪推了推眼镜，不用翻笔记本，直接报出了数据：

“都在云光厂养老。不过，年纪最大的张老爷子已经七十多了，手可能……”

“只要眼还没瞎，只要气还在。”

苏正打断了她，“备车。不对，申请直升机。我要亲自去一趟云光厂。”

……

云贵高原，深山之中。

云光厂（云南光学仪器厂）的老厂房里，瀰漫著一股淡淡的煤油味和研磨膏的香气。

这里是华夏光学的圣地。从抗战时期的望远镜，到后来的显微镜、经纬仪，无数大国重器的“眼睛”，都是从这里走出去的。

当苏正走进那间被称为“禁地”的高级研磨车间时，几位头髮花白的老人正围坐在一张那是一张巨大的花岗岩工作檯前，喝著茶，聊著天。

看到苏正进来，为首的一位清瘦老人放下了茶杯。

他叫张本初，华夏光学界的“扫地僧”。传说他年轻时，能用手摸出镜片上0.1微米的误差。

“苏部长？”

张老爷子显然听说过苏正的大名，“听说你在西北搞了个大动静，连我们的镇厂之宝刘徒弟都被你借去磨玻璃了？”

“张老。”

苏正恭敬地鞠了一躬，“这次来，是想请您出山。”

“出山？”

张老爷子笑了，伸出那双布满老茧和老年斑的手，“我都这把年纪了，手早就抖了。现在是机器的时代，听说国外都用什么……雷射干涉仪来检测了？我们这些老手艺，该进博物馆咯。”

“机器確实厉害。”

苏正走到工作檯前，从怀里掏出那张3微米晶片的光刻底片，又拿出了一张图纸。

那是他用“真理之眼”还原出的、尼康公司即將在明年推出的高端光刻机镜头组的设计图。

“但是，机器是人造的。”

苏正把图纸铺开，“国外的机器我们买不到。国內的机器……精度还差一口气。这口气，只有您能帮我续上。”

张老爷子眯起眼睛，看著那张图纸。

看著看著，他的脸色变了。

原本浑浊的眼神，突然变得清亮无比，像是两道光。

“这……这是谁设计的？”

张老爷子颤抖著指著图纸上的一组非球面镜片，“这种曲率……这种像差矫正结构……这简直是鬼斧神工！这要是磨出来，解析度能达到多少？”

“1微米。甚至……0.8微米。”苏正平静地说道。

“0.8微米……”

张老爷子深吸了一口气。那是光的波长的量级。那是在刀尖上跳舞。

“图纸是好图纸。”

张老爷子嘆了口气，“可是这最后一道拋光，要求面型误差不能超过头髮丝的千分之一。机器做不到，我也……没把握。”

“我有。”

苏正指了指自己的眼睛，“您看不见的误差，我能看见。您的手抖，我帮您稳。我们爷俩合伙，跟那帮洋鬼子的机器比试比试？”

张老爷子盯著苏正看了许久。

突然，他猛地一拍桌子，震得茶杯里的水晃了晃。

“好！”

老人身上的暮气一扫而空，取而代之的是一股宗师般的傲气，“妈了个巴子的，洋人封锁我们？老子磨了一辈子玻璃，就不信磨不出一口气来！开工！”

……

接下来的半个月，云光厂的那间绝密车间，成了不夜城。

苏正和张老爷子，以及另外三位顶级老师傅，把自己关在了里面。

没有精密干涉仪？

没关係。苏正的“真理之眼”开启。在他的视野里，那块正在研磨的石英玻璃表面，不再是光滑的平面，而是变成了起伏的山峦和沟壑。

每一处高出的“山峰”，每一处低洼的“谷底”，都清晰可见。

“张老，左上角，两点钟方向，高了30个纳米。”苏正轻声说道。

30纳米。

那是细菌长度的几十分之一。

张老爷子闭著眼睛，深吸一口气，手中的拋光碟轻轻落下。

他的动作轻柔得像是在抚摸情人的脸庞。沥青拋光碟带著红色的氧化铁研磨液，在玻璃表面划出一道道玄奥的轨跡。