第349章 追光四期的工艺验证计划

林薇站在长桌前，面前摊著追光四期的工艺验证计划草案，足足两百多页，每一页都贴满了標籤和批註。梁志远坐在她右侧，手里拿著一台终端，上面显示著追光三期量產线的实时数据。张京京从合城赶来，坐在左侧，面前是一叠追光產线工艺改良的最新报告。章宸也到了，坐在稍远的位置，翻看著追光四期与天权晶片工艺的接口文档。

追光三期的主腔体材料实验在六周前给出了两条可行路径——梯度过渡层优先上量產，涂层改性並行研发。六千万的產线工艺改良投入已经执行了四周，旋转阴极、等离子清洗、洁净度升级三条线同步推进，良率从百分之九十一拉到了百分之九十三点五，距离百分之九十五的目標还差一点五个百分点。这些成绩让团队对追光技术路线有了信心，但林薇知道，追光三期只是解决了“能不能做出来”的问题。追光四期要解决的是“能不能做得更好、更快、更便宜”的问题。

会议开始前，林薇先让梁志远匯报了追光三期的量產数据。

“追光三期量產线，过去四周的累计数据——总投片一万两千片，良品率百分之九十三点五，比四周前提升了二点五个百分点。旋转阴极的均匀性从正负百分之五优化到正负百分之三，等离子清洗的颗粒去除率从百分之九十五提升到百分之九十八，洁净度从千级提升到百级。三条线的改良都达到了预期目標。”

“但有一个问题——梯度过渡层的工艺窗口太窄。温度、气压、功率三个参数的允许波动范围只有正负百分之一，超出这个范围，过渡层的结合力就会下降。產线上的操作工需要非常精细的控制，稍有疏忽就会造成批量报废。我们正在开发自动反馈控制系统，把参数波动范围放宽到正负百分之三。”

林薇在笔记本上记下了“自动反馈控制”这几个字。

张京京补充道:“涂层改性的並行研发也有进展。郑教授的团队在实验室里做出了一种新型梯度涂层，结合力比现有方案高百分之三十，热膨胀係数和基体更匹配。但这个方案需要在追光四期上验证，追光三期的腔体结构不支持。”

林薇点了点头，翻到追光四期工艺验证计划的第一页。

“追光四期的定位——不是追光三期的简单升级，而是下一代镀膜平台。设计目標是——镀膜均匀性正负百分之一以內，界面结合力提升百分之五十，工艺窗口放宽到正负百分之三，单片成本降低百分之三十。同时，支持更大尺寸的基板，从目前的八英寸扩展到十二英寸。”

“验证计划分为三个阶段。第一阶段，核心模块验证，周期八周。第二阶段，整机集成验证，周期十二周。第三阶段，量產爬坡验证，周期十六周。总计三十六周，大约九个月。”

梁志远站起来，走到投影幕前，调出了追光四期的系统架构图。

“追光四期的核心改进有四点。第一，腔体结构重新设计。追光三期的腔体是单室结构，镀膜和基板传输在同一个腔室，相互干扰。追光四期採用多室结构——进样室、镀膜室、出样室分开，基板通过真空传输轨道移动。这样可以避免交叉污染，同时提高產能。”

“第二，镀膜源升级。从平面阴极升级为旋转阴极阵列，四个阴极可以独立控制功率和气体流量。镀膜均匀性从正负百分之三提升到正负百分之一以內。”

“第三，在线检测系统。在镀膜室內集成椭圆偏振仪和反射高能电子衍射仪，实时监测膜厚和晶体结构。发现异常可以在零点五秒內调整工艺参数，避免批量报废。”

“第四，自动化控制系统。用天权5晶片作为核心控制器，配合小芯的ai模型，实现全自动工艺优化。操作工只需要输入目標膜厚和材料，系统会自动计算最优工艺参数並执行。”

章宸听到“天权5晶片”时，抬起了头。“天权5的工程样片什么时候能出来？”

林薇回答:“天权5的架构优化方案下个月评审，工程样片预计十六周后出来。追光四期的控制系统开发可以先在天权4號上做，等天权5出来后移植过去。指令集兼容，移植工作量不大。”

章宸点了点头。

接下来，张京京介绍了追光四期与合城產线的对接计划。

“追光四期的验证，不能只在实验室做，必须和量產线结合。我们的计划是——在合城產业园新建一条追光四期中试线，投资两亿，设计產能每月一千片。中试线的作用有三个——第一，验证追光四期的工艺稳定性和重复性。第二，培养操作和维护团队。第三，为客户提供工艺开发和打样服务。”

“中试线建设周期二十四周，和追光四期的整机集成验证阶段同步。三十六周后，追光四期通过验证，中试线也建成投用。然后再用十六周时间，在中试线上跑通量產工艺，最后移植到大规模量產线。”

苏黛问了一个问题:“两亿的投资，从哪里出？”

林薇回答:“从追光项目的专项预算里出。追光三期到四期，总预算是十五亿，已经花了八亿，还剩七亿。两亿的中试线投资在预算內。”

苏黛在笔记本上记了下来。

会议进入核心议题——追光四期工艺验证计划的具体安排。

梁志远调出了一张详细的时间表。

“第一阶段，核心模块验证，八周。分四个子模块並行验证——多室真空传输模块、旋转阴极阵列模块、在线检测模块、自动控制模块。每个模块在独立的实验平台上验证，达標后进入第二阶段。”

“第二阶段，整机集成验证，十二周。把四个模块集成到一台完整的追光四期样机上，在实验室环境下连续运行，验证整机的稳定性、可靠性、以及工艺性能。这个阶段会生產一千片测试样片，进行全面的物性分析和可靠性测试。”

“第三阶段，量產爬坡验证，十六周。把追光四期样机搬到合城的中试线上，在实际生產环境下运行。目標是连续生產五千片，良率稳定在百分之九十五以上，平均无故障时间超过五百小时。达到这个目標后，追光四期就可以进入大规模量產。”

林薇追问了一个关键问题:“每个阶段的通过標准是什么？”

梁志远翻到了验证计划的附录。

“第一阶段，每个子模块的关键指標达標——真空传输模块，基板传输速度每秒五百毫米，定位精度正负零点一毫米，破真空到恢復时间小於两分钟。旋转阴极阵列，镀膜均匀性正负百分之一以內，靶材利用率百分之七十以上。在线检测模块，膜厚测量精度正负零点一纳米，晶体结构识別准確率百分之九十九。自动控制模块，工艺参数自动调整响应时间小於零点五秒，工艺优化收敛时间小於十分钟。”

“第二阶段，整机连续运行五百小时，无重大故障。测试样片的膜厚均匀性正负百分之一以內，界面结合力比追光三期提升百分之五十，工艺窗口温度正负三度、气压正负百分之三、功率正负百分之三。”

“第三阶段，连续生產五千片，良率百分之九十五以上，平均无故障时间五百小时。单片成本比追光三期降低百分之三十。工艺文档和培训手册完整，操作团队通过考核。”

周明问了一个问题:“追光四期的智慧財產权保护怎么做的？这么先进的技术，如果被竞爭对手模仿或者窃取，损失会很大。”

林薇让法务团队的代表回答了这个问题。那是一个三十出头的专利工程师，姓吴，戴著黑框眼镜，说话条理清晰。

“追光四期的核心技术，我们已经布局了四十七项专利申请，其中发明专利三十九项、实用新型八项。覆盖了多室结构、旋转阴极阵列、在线检测、自动控制四个模块。另外，有十二项技术作为商业秘密保护，不申请专利，只在內部知悉。”